Si3H8 矽丙烷

產品說明
矽丙烷Trisilane(Si3H8)之薄膜緻密度、沈積薄膜的平滑性(Smoothness)、連續性(Continuity)及摻雜兼容性(Dopants)皆比矽乙烷Disilane(Si2H6)高約數十倍以上,矽丙烷將成為下一階段半導體先進製程之關鍵性原料。
產品應用
目前矽丙烷Trisilane(Si3H8)以先提供半導體先進製程、研究單位、開發單位、學術研究機構為主。

CVD沈積原理

產品規格

本公司產品為電子級之規格:  4N

若需其相關規格之細節,歡迎與我們聯繫,謝謝。

產品包裝

矽丙烷Trisilane(Si3H8) 之包裝方式以客戶需求為主。